首頁
部落格
Facebook專頁
ENGLISH
珍藏特展
目錄導覽
技術體驗
成果網站資源
目錄導覽首頁
HOTKEY快速導覽
內容主題
典藏機構
進階搜尋
資源聯盟
首頁
目錄導覽
內容主題
新聞
國圖館藏期刊
首頁
目錄導覽
典藏機構與計畫
國家圖書館
國家圖書館期刊報紙典藏數位化計畫
NH₃ Nitridation-Induced Phase Changes and Property Improvements of ZrO₂/Al₂O₃/ZrO₂ Dielectric: Application to Metal-Insulator-Metal Capacitor in DRAM
推薦分享
資源連結
連結到原始資料
(您即將開啟新視窗離開本站)
後設資料
資料識別:
A10021090
資料類型:
期刊論文
著作者:
李名言(Li, Ming-yen) 蔡濱祥(Tsai, Bin-siang) 江佩錞(Jiang, Pei-chuen) 吳孝哲(Wu, Hsiao-che) 巫勇賢(Wu, Yung-hsien) 林裕荏(Lin, Yu-jen)
主題與關鍵字:
NH₃氮化 介電質 相變化 電容器 ZrO₂/Al₂O₃/ZrO₂ NH₃ nitridation High-k dielectric Phase change Capacitor
描述:
來源期刊:真空科技
卷期:23:1 2010.03[民99.03]
頁次:頁12-17
日期:
20100300
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館
授權聯絡窗口
管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305
引用這筆典藏
引用資訊
李名言(Li, Ming-yen) 蔡濱祥(Tsai, Bin-siang) 江佩錞(Jiang, Pei-chuen) 吳孝哲(Wu, Hsiao-che) 巫勇賢(Wu, Yung-hsien) 林裕荏(Lin, Yu-jen)(20100300)。[NH₃ Nitridation-Induced Phase Changes and Property Improvements of ZrO₂/Al₂O₃/ZrO₂ Dielectric: Application to Metal-Insulator-Metal Capacitor in DRAM]。《數位典藏與數位學習聯合目錄》。http://catalog.digitalarchives.tw/item/00/55/b4/dd.html(2017/03/25瀏覽)。
直接連結
http://catalog.digitalarchives.tw/item/00/55/b4/dd.html
評分與驗證
請為這筆數位資源評分
感謝您為這筆數位資源評分,為了讓資料更容易被檢索利用,請選擇和這項數位資源相關的詞彙:
電容器
相變化
林裕
請填入更適合的關鍵詞
推薦藏品
美學、民族誌與文學的文化功能:專訪嘉...
臺灣特有種植物與藥用資源調查研究
傳統骨科中藥材骨碎補對骨母細胞之生理...
明鄭時期臺灣「名士佛教」的特質分析
中國古代飲食名著(上)
硼含量對AlCoCrFe₂NiMo□...