虛擬基板鍺含量對應變矽元件電性影響之研究
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- 資料識別：
- A08003309
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林忠雄(Lin， Chung-Hsiung) 康定國(Kang， Ting-Kuo) 吳忠義(Wu， Chung-Yi) 郭正聞(Kuo， Cheng-Wen) 吳三連(Wu， San-Lein)
- 主題與關鍵字：
- 應變矽 矽鍺 矽鍺虛擬基板 Strained-Si SiGe SiGe virtual substrate
- 描述：
- 來源期刊:正修學報
- 卷期:20 2007.11[民96.11]
- 頁次:頁51-65
- 日期：
- 20071100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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