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濺鍍沈積氮化鉭(Ta[feaf]N/TaN)...
單層Ta[feaf]N 單層TaN 複層Ta[feaf]N/TaN 阻礙層薄膜 銅 國家圖書館 20001100 期刊論文 許振聲(Hsu， C. S.) 黃獻慶(Huang， S. C.) 府玠辰.....more
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