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Development and Implementation...
晶圓搬運 機械手臂 超高真空 磁力聯軸器 運動控制 Wafer-handling Robot Ultrahigh vacuum Magnetic coupling Motion control 國家.....more
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半導體封裝機臺Wafer Map系統改...
上片 回貨時間 良率 晶圓圖 統一塑模語言 Die bonding Wafer map Cycle time Yield UML 國家圖書館 20100800 期刊論文 林義健(Lin， Yi.....more
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晶圓製造批量優先序分佈與設定之...
晶圓製造 在製品 優先序分佈 優先序設定 Wafer fab Wafer-in-process Priority distribution Priority setting 國家圖書館.....more
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Dispatching Rules Using Flow T...
半導體晶圓製造 派工法則 模擬 流程時間預測 Semiconductor wafer fabrication Dispatching rule Simulation Flow time.....more
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晶圓級晶片尺寸型封裝之製程與關...
晶圓級晶片尺寸封裝 凸塊 重分佈 晶圓切割 Wafer level chip scale package Bump Redistribution Wafer dicing 國家圖書館.....more
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常壓電漿束技術在半導體製程之應...
電漿束 非接觸式晶圓支座 晶圓薄化 Plasma jet Non-contact wafer holder Wafer thinning 國家圖書館 20000800 期刊論文 張耀仁 藍光宏 洪達.....more
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300mm 晶圓盒晶圓保持件之保持力...
300mm晶圓盒 晶圓 晶圓保持件 電腦輔助分析 最佳化設計 FOUP Wafer Wafer retainer CAE Optimum design 國家圖書館 20030900 期刊論文 李定穎.....more
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Temperature Uniformity of 12-i...
Temperature uniformity Rapid thermal processing 12 inches Silicon wafer 十二吋矽晶圓 快速熱製程 溫度均勻性 國家圖書館.....more
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Study on Wafer Rework Strategi...
晶圓製造 再加工策略 派工法則 模擬 Wafer fabrication Rework strategy Dispatching rule Simulation 國家圖書館 20030900 期刊論.....more
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Reduction of Ultra-pure Water ...
Reduction Ultra-pure water Wafer rinsing Semi-conductor 晶圓 洗滌程序 超純水 國家圖書館 20010300 期刊論文 呂世源(Lu.....more
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Tool Planning in Multiple Prod...
Tool planning Cycle time Multiple product mix GA Genetic algorithm Wafer foundry 機臺規劃 週期時間 多產品比例 基因.....more
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Automatic Wafer Surface Inspec...
半導體 晶圓瑕疵 自動化的檢驗系統 Machine vision Automated inspection Wafer inspection 國家圖書館 19980600 期刊論文 林瑞明(Lin.....more
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晶圓製造廠黃光區派工法則之研究
投料 派工法則 晶圓製造 Wafer releasing Dispatching rule Wafer fabrication 國家圖書館 20030700 期刊論文 林於杏(Lin， Yu.....more
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常壓電漿束技術在半導體製程之應...
電漿束 非接觸式晶圓支座 晶圓薄化 Plasma jet Non-contact wafer holder Wafer thinning 國家圖書館 19990900 期刊論文 張耀仁 藍光宏 洪達.....more
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深次微米製程先進蝕刻清洗分析
濕式清洗 晶片清洗 單片式旋轉蝕刻清洗設備 Wet cleaning Wafer cleaning Single-wafer spin cleaner 國家圖書館 19990900 期刊論文 葉清發.....more
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