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Piezoelectric actuator Micro-/nano-positioning stage Fiber optical interferometer system ANSYS.....more

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面型微加工 微陣列式熱致動器 濕蝕刻 犧牲層 Surface micromachining Micro array thermal actuator Wet etching Sacrificial.....more

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微陣列式熱致動器應用在微光學元...

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結合微陣列式熱致動器之新型微光...

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微陣列式熱致動器 微面鏡 微光學元件 微調結構 Micro array thermal actuator MATA Micro mirror Micro optical devices Fine.....more

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運用田口法探討結合壓電與音圈馬...

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局部電化學沈積法之一微結構製程...

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