電漿密度量測系統的製作與評估
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A99006412
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 廖峻德(Liao， J. D.) 游永祥(Yu， Y. S.) 魏大欽(Wei， Peter)
- 主題與關鍵字：
- 探測針 電漿製程 電漿密度 Proobe Plasma processing Plasma density
- 描述：
- 來源期刊:中原學報
- 卷期:27:1 民88.03
- 頁次:頁89-93
- 日期：
- 19990300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
