半導體製程設備設計電腦模擬
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- 資料識別：
- A99003721
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊肇福
- 主題與關鍵字：
- 磁相互感應 熱流 渦流 非線性 熱應力 有限元素法 熔融矽 結晶 缺陷 潛熱 旋轉 拉晶速度 Electromagnetic interaction Heat flow Swirl Non-linear Thermal stresses FEM Silicon melt Crystal Dislocation Latent heat Rotation Pulling rate
- 描述：
- 來源期刊:工業簡訊
- 卷期:29:1 民88.01
- 頁次:頁20-32
- 日期：
- 19990100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
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