Applications of Total Reflection X-ray Fluorescence to Analysis of VLSI Micro Contamination
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- 資料識別：
- A99038696
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 劉博文(Liou， Bor Wen) 李崇仁(Lee， Chung Len)
- 主題與關鍵字：
- 全反射X-螢光表面分析儀 VLSI微污染監控 金屬污染物 TXRF
- 描述：
- 來源期刊:吳鳳學報
- 卷期:7 民88.06
- 頁次:頁149-162
- 日期：
- 19990600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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