晶圓製造廠自動化物料搬運與儲存系統之模擬分析
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- 資料識別：
- A99034497
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 呂博裕(Leu， Bor-yuh) 王福琨(Wang， Fu-kwun)
- 主題與關鍵字：
- 晶圓製造廠 自動化物料搬運與儲存系統 系統模擬 Wafer fab Automated material handling and storage system System Simulation
- 描述：
- 來源期刊:工業工程學刊
- 卷期:16:2 民88.03
- 頁次:頁183-194
- 日期：
- 19990300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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