Emission Spectrum Measurement of the Rapid Thermal Processing Heating Source by Fourier Transform Infrared Spectroscopy
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- 資料識別：
- A99033403
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 曲新生(Chu， Hsin-sen) 林森溥(Lin， Senpuu) 張謙成(Chang， Chien-cheng) 蘇俊傑(Su， Chiung-chieh) 閻建政(Yen， Chien-cheng) 曹仁杰(Tsao， Jen-chieh)
- 主題與關鍵字：
- Rapid thermal processing RTP Heating source Emission spectrum Fourier transform infrared FTIR Spectroscopy 傅氏轉換紅外線頻譜儀 快速熱程序爐 加熱燈源 放射頻譜
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:20:6 民88.12
- 頁次:頁553-562
- 日期：
- 19991200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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