矽基材光波導元件之製程技術
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- 資料識別：
- A99030547
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 高建綱 高健薰 張絢 蔡春鴻 林諭男 齊正中 蘇忠傑
- 主題與關鍵字：
- 矽基材 光波導元件
- 描述：
- 來源期刊:光學工程
- 卷期:68 民88.12
- 頁次:頁68-72
- 日期：
- 19991200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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