應用霍式紅外光譜法調查半導體廠製程危害性氣體
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- 資料識別：
- A99029857
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 葉銘鵬(Yeh， Ming-peng) 吳榮泰(Wu， Rong-tai) 余榮彬(Yu， Jung-pin)
- 主題與關鍵字：
- 霍氏紅外光譜儀 半導體廠 氣體分析 TIR Semiconductor Gas analysis
- 描述：
- 來源期刊:勞工安全衛生研究季刊
- 卷期:7:4 民88.12
- 頁次:頁389-400
- 日期：
- 19991200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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