具有Super-filling現象的電鍍銅技術與其在超大型積體電路中的應用
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- 資料識別：
- A99029550
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張鼎張 胡榮治 陳力俊
- 主題與關鍵字：
- 電鍍銅技術 超大型積體電路 Super-filling ULSI
- 描述：
- 來源期刊:國科會國家毫微米元件實驗室通訊
- 卷期:6:4 民88.11
- 頁次:頁12-17
- 日期：
- 19991100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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