微機電壓電薄膜製程與應用
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- 資料識別：
- A99028052
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張所鋐
- 主題與關鍵字：
- 微機電壓電薄膜 微機電系統 Mirco-electro mechanical systems MEMS
- 描述：
- 來源期刊:機械月刊
- 卷期:25:11=292 民88.11
- 頁次:頁335-342
- 日期：
- 19991100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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