氮化鎵活性離子蝕性技術研究
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- 資料識別：
- A99027968
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 莊賦祥(Juang， Fuh-shyang) 蘇炎坤(Su， Yan-kuin) 陳建助(Chen， Chien-chu) 許進恭(Shu， Jin-kon)
- 主題與關鍵字：
- 氮化鎵 活性離子蝕性技術
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:12:3 民88.10
- 頁次:頁16-21
- 日期：
- 19991000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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