穿透式電子顯微鏡的應用研究--IC製程導致的晶格缺陷觀察
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- 資料識別：
- A99027662
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 謝詠芬 朱志勳 崔秉鋮
- 主題與關鍵字：
- 穿透式電子顯微鏡 晶格缺陷 IC Transmission electron microscopy
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:21:3=113 民88.12
- 頁次:頁79-89
- 日期：
- 19991200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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