結合離子植入以及快速高溫回火技術的超淺接合面模組
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- 資料識別：
- A99024872
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 孫學立
- 主題與關鍵字：
- 離子植入 快速高溫回火技術 超淺接合面模組
- 描述：
- 來源期刊:新電子科技
- 卷期:162 民88.09
- 頁次:頁182-188
- 日期：
- 19990900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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