鉭基氮化物擴散阻礙層在銅金屬化系統之失效機制

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資料識別:
A99023896
資料類型:
期刊論文
著作者:
許振聲(Hsu, C. S.) 陳錦山(Chen, G. S.)
主題與關鍵字:
鉭基氮化物擴散阻礙層 銅金屬化系統 失效機制
描述:
來源期刊:真空科技
卷期:12:2 民88.07
頁次:頁5-17
日期:
19990700
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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