鉭基氮化物擴散阻礙層在銅金屬化系統之失效機制
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- 資料識別：
- A99023896
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 許振聲(Hsu， C. S.) 陳錦山(Chen， G. S.)
- 主題與關鍵字：
- 鉭基氮化物擴散阻礙層 銅金屬化系統 失效機制
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:12:2 民88.07
- 頁次:頁5-17
- 日期：
- 19990700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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