高潔淨閥件之流道表面處理--電解拋光(EP)技術
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- 資料識別：
- A99022600
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳裕豐
- 主題與關鍵字：
- 半導體設備 電解拋光 鈍化層 高潔淨 表面處理 Semiconductor equipment Electropolish Passivation layer High purity Surface treatment
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:198 民88.09
- 頁次:頁230-240
- 日期：
- 19990900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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