SMIF晶圓盒惰性氣體充填流場最佳化分析
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- 資料識別：
- A99022593
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 虞嘉磊 鄭詠仁 陳希立 吳宗明 楊東芳
- 主題與關鍵字：
- 標準機械介面 晶圓盒 惰性氣體充填 流場最佳化 Standard mechanical interface Pod Gas charging Optimization of flow field
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:198 民88.09
- 頁次:頁168-176
- 日期：
- 19990900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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