矽晶片研磨損傷及磊晶層之研究
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- 資料識別：
- A99022567
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 朱俊俍 謝明雄 歐陽浩 蔡哲正 林宏彝
- 主題與關鍵字：
- 磊晶成長 殘留應力 矽晶片 Epitaxial growth Residual stresses Silicon wafer
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:197 民88.08
- 頁次:頁154-161
- 日期：
- 19990800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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