掃描穿隧顯微鏡於矽單晶上奈米尺寸氧化加工之條件研究
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- 資料識別：
- A99022560
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 曾坤賜 謝宗雍 羅士哲 林錫甫
- 主題與關鍵字：
- 掃描探針顯微鏡 掃描穿隧顯微鏡 電氣化 矽 Scanning probe microscope Scanning tunneling microscope Electrical oxidation Silicon
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:197 民88.08
- 頁次:頁105-109
- 日期：
- 19990800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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