金屬(W、Cu、Al、TiN、TaN)化學氣相沈積技術
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- 資料識別：
- A99022387
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張鼎張 胡榮治
- 主題與關鍵字：
- 金屬 化學氣相沈積技術 鎢 銅 鋁 氮化鈦 氮化鉭 W Cu Al TiN TaN
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:5:4=45 民88.04
- 頁次:頁116-139
- 日期：
- 19990400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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