極大型積體電路之低介電常數材料應用及技術
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- 資料識別：
- A99022381
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張鼎張 劉韋志
- 主題與關鍵字：
- 積體電路 低介電常數材料 Integrated circuit
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:5:6=47 民88.06
- 頁次:頁104-116
- 日期：
- 19990600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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