皺褶多晶矽層在堆疊形動態隨機存取記憶體電容之形成與運用
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- 資料識別：
- A99022373
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林俊賢 陳仕卿
- 主題與關鍵字：
- 皺褶多晶矽層 動態隨機記憶體 DRAM Rugged poly-si HSG
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:5:5=46 民88.05
- 頁次:頁130-135
- 日期：
- 19990500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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