層間膜/STI的SiO[feaf]-CMP後之洗淨技術
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- 資料識別：
- A99020325
- 資料類型：
- 期刊論文
- 主題與關鍵字：
- 洗淨 層間絕緣膜CMP SiO[feaf]-CMP STI-CMP
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:5:7=48 民88.07
- 頁次:頁168-171
- 貢獻者：
- 皖之
- 日期：
- 19990700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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