低能量離子佈植技術及F狇預先非晶化佈植之探討
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- 資料識別：
- A99001590
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔣曉白 曾堅信
- 主題與關鍵字：
- 離子佈植 F狇離子 預先非晶化佈值
- 描述：
- 來源期刊:國科會國家毫微米元件實驗室通訊
- 卷期:6:1 民88.02
- 頁次:頁38-40
- 日期：
- 19990200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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