金屬與複晶矽接觸系統之氫（氧）被覆處理之研究
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- 資料識別：
- A99014109
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊炳章(Yang， Ping-chang) 楊文祿(Yang， Wen-luh) 李信儒(Li， Sin-zu)
- 主題與關鍵字：
- 複晶矽 接觸電阻 被複 Polysilicon Specific contact resistivity Passivation
- 描述：
- 來源期刊:逢甲學報
- 卷期:35 民88.06
- 頁次:頁129-136
- 日期：
- 19990600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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