步進機之覆蓋誤差參數評估
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- 資料識別：
- A99012811
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 吳文章(Wu， Wen-jang)
- 主題與關鍵字：
- 步進機 覆蓋誤差 晶圓 多線性回歸 Stepper Overlay Wafer Multiple linear regression
- 描述：
- 來源期刊:聯合學報
- 卷期:16 民88.01
- 頁次:頁31-46
- 日期：
- 19990100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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