VPD/TXRF的基本原理和在半導體製程的應用
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- 資料識別：
- A99011854
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 劉博文
- 主題與關鍵字：
- 半導體製程 蒸氣分解法／全反射螢光表面分析儀 Vapor phase decomposition total reflection X-ray fluorescence spectroscopy VPD/TXRF
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:20:5=109 民88.04
- 頁次:頁68-83
- 日期：
- 19990400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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