A Cmos Surface Micromachined Pressure Sensor
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- 資料識別：
- A99010335
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 戴慶良(Dai， Ching-liang) 張培仁(Chang， Pei-zen)
- 主題與關鍵字：
- 互補式金氧半導體 電容式 壓力計 CMOS Capacitive Pressure sensor
- 描述：
- 來源期刊:中國工程學刊
- 卷期:22:3 民88.05
- 頁次:頁375-380
- 日期：
- 19990500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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