光阻劑中之酸擴散效應
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- 資料識別：
- A99000353
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 賴榮豊(Lai， Long-li) 張瑞發(Chang， Jui-fa) 陳建宏(Chen， Jian-hong)
- 主題與關鍵字：
- 光酸發生劑 樹脂 光罩 微影
- 描述：
- 來源期刊:觸媒與製程
- 卷期:6:4 民88.01
- 頁次:頁1-9
- 日期：
- 19990100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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