BaTiO[feb0]薄膜液態源霧化沉積及快速熱退火製程
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- 資料識別：
- A98005328
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 詹世雄 洪瑞華 呂正傑
- 主題與關鍵字：
- BaTiO[feb0]薄膜 液態源霧化沉積 快速熱退火製程
- 描述：
- 來源期刊:國科會國家毫微米元件實驗室通訊
- 卷期:5:1 民87.03
- 頁次:頁35-38
- 日期：
- 19980300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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