以反射係數及相位測量薄膜的光學常數及厚度研究
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- 資料識別：
- A98005106
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 朱正煒 李正中
- 主題與關鍵字：
- 橢圓偏極術 相位偏移 光學常數 Ellipsometry Phase shifting Optical constant
- 描述：
- 來源期刊:光學工程
- 卷期:61 民87.03
- 頁次:頁5-13
- 日期：
- 19980300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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