Investigation of Flow and Heat Transfer in Vertical CVD Reactors
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- 資料識別：
- A98004116
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 崔燕勇(Tsui， Yeng-yung) 陳建宏(Chen， Chien-hung)
- 主題與關鍵字：
- Vertical CVD reactor flow Numerical simulation Chemical vapor deposition 垂直式CVD反應器 熱傳研究
- 描述：
- 來源期刊:Proceedings of the National Science Council. Part A， Physical Science and Engineering
- 卷期:22:1 民87.01
- 頁次:頁154-162
- 日期：
- 19980100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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