A Study of Residual Stress and Microstructure of Large and Thick Diamond Films Prepared by MPCVD
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- 資料識別：
- A98004106
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃宏欣(Huang， Hong-hsin) 洪敏雄(Hon， Min-hsiung)
- 主題與關鍵字：
- Heat sink Internal stress Diamond films MPCVD 鑽石膜 殘留應力 微結構
- 描述：
- 來源期刊:Proceedings of the National Science Council. Part A， Physical Science and Engineering
- 卷期:22:1 民87.01
- 頁次:頁48-54
- 日期：
- 19980100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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