Growth of Highly C-axis Oriented AlN Films on GaAs Substrates
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- 資料識別：
- A98040720
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 洪榮昌(Horng， Rong-chang) 鄭建銓(Cheng， Chien-chuan)
- 主題與關鍵字：
- C-axis oriented Aluminum nitride Reactive rf magnetron sputtering X-ray diffraction Preferred orientation Scanning electron microscopy 沈積 高C軸排向氮化鋁薄膜 反應性射頻磁控濺鍍法 砷化鎵基板
- 描述：
- 來源期刊:四海學報
- 卷期:12 民87.05
- 頁次:頁127-141
- 日期：
- 19980500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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