Application of Anodization followed by Rapid Thermal Treatment to Thin Gate Oxide Growth
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- 資料識別：
- A98036801
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 鄭明哲(Jeng， Ming-jer) 胡振國(Hwu， Jenn-gwo)
- 主題與關鍵字：
- Anodic oxidation ANO Rapid thermal densification Rapid thermal nitridation 陽極氧化法 快速熱密化處理 快速熱氮化處理
- 描述：
- 來源期刊:Journal of the Chinese Institute of Electrical Engineering
- 卷期:5:4 民87.11
- 頁次:頁297-304
- 日期：
- 19981100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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