壓電薄膜表面彈性元件設計與製作
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A98036036
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張所宏(Chang， Shuo-hung) 陳志清(Chen， Zhi-ching)
- 主題與關鍵字：
- MOD法 表面彈性波 SAW元件 壓電薄膜 微機電系統 Metallo-organic decomposition Surface acoustic wave Piezoelectric thin film MEMS
- 描述：
- 來源期刊:國立臺灣大學工程學刊
- 卷期:74 民87.10
- 頁次:頁139-153
- 日期：
- 19981000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
