Positional Error Compensation of a Precision Microstage
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- 資料識別：
- A98034116
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 范光照(Fan， Kuang-chao) 林勤喻(Lin， Chin-yu) 徐力弘(Shyu， Lih-hung)
- 主題與關鍵字：
- Microstage Positioning error Error compensation 微步平臺 定位誤差補償 雷射干涉儀 校正
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:19:6 民87.12
- 頁次:頁543-548
- 日期：
- 19981200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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