Ultra Shallow P狇-n Junctions for VLSI Devices by Incorporating N[feaf]狇Implantation
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- 資料識別：
- A98033470
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊文祿(Yang， Wen-luh) 劉堂傑(Liu， Don-gey) 李仕弘(Lee， Shih-hung) 陳朝祺(Chen， Chao-chi) 趙天生(Chao， Tien-sheng) 雷添福(Lei， Tan-fu)
- 主題與關鍵字：
- 超淺接面 固態擴散源 複晶矽 Ultra shallow junction Solid diffusion source Polysilicon
- 描述：
- 來源期刊:逢甲學報
- 卷期:34 民87.12
- 頁次:頁93-103
- 日期：
- 19981200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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