Decomposition of Methyl Chloride in the Plasma Environment

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資料識別:
A98030942
資料類型:
期刊論文
著作者:
謝連德(Hsieh, Lien-te) 李文智(Lee, Wen-jhy) 陳志勇(Chen, Chuh-yung)
主題與關鍵字:
高週波 電漿 氯甲烷 分解 Radio-frequency RF Plasma Methyl chloride Decomposition
描述:
來源期刊:燃燒學會會刊
卷期:7:3=24 民87.09
頁次:頁18-23
日期:
19980900
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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