銅薄膜應力量測
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- 資料識別：
- A98029757
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 周卓煇(Jou， Jwo-huei) 宋建憲(Song， Chien-hsien) 陸曉慈(Lu， Hsiao-tzu)
- 主題與關鍵字：
- 銅薄膜 應力 彎柄儀 X光繞射儀 歐傑電子能譜 Copper thin film Stress Bending beam technique X-ray diffraction Auger electron spectroscopy
- 描述：
- 來源期刊:材料科學
- 卷期:30:4 民87.12
- 頁次:頁239-244
- 日期：
- 19981200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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