高能金離子佈植於矽之縱向與橫向射程分佈研究

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資料識別:
A98002504
資料類型:
期刊論文
著作者:
梁正宏(Liang, Jenq-horng) 許智祐(Hsu, Jyh-yuo) 賴仲彥(Lai, Chung-yen) 周金陶(Chou, Jin-tau) 牛寰(Niu, Huan) 游文滄(Yu, Wen-tsang)
主題與關鍵字:
Ion implantation Projected range Longitudinal range straggling Transverse range straggling Rutherford backscattering spectrome-try 高能金離子 矽 射程分佈
描述:
來源期刊:核子科學
卷期:35:1 民87.02
頁次:頁49-54
日期:
19980200
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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