高能金離子佈植於矽之縱向與橫向射程分佈研究
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- 資料識別：
- A98002504
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 梁正宏(Liang， Jenq-horng) 許智祐(Hsu， Jyh-yuo) 賴仲彥(Lai， Chung-yen) 周金陶(Chou， Jin-tau) 牛寰(Niu， Huan) 游文滄(Yu， Wen-tsang)
- 主題與關鍵字：
- Ion implantation Projected range Longitudinal range straggling Transverse range straggling Rutherford backscattering spectrome-try 高能金離子 矽 射程分佈
- 描述：
- 來源期刊:核子科學
- 卷期:35:1 民87.02
- 頁次:頁49-54
- 日期：
- 19980200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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