Direct Simulation Monte Carlo of Monosilane Low Pressure Chemical Vapor Deposition
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- 資料識別：
- A98029159
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 徐啟中(Hsu， Chi-chung) 李良倫(Lee， Lang-luen) 蔡大翔(Tsai， Dah-shyang)
- 主題與關鍵字：
- Silane CVD High silane Silylene Molecular simulation DSMC 蒙地卡羅分子模擬法 矽甲烷 低壓 化學氣相沉積
- 描述：
- 來源期刊:Journal of the Chinese Institute of Chemical Engineers
- 卷期:29:6 民87.11
- 頁次:頁427-435
- 日期：
- 19981100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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