微致動器與流體控制元件
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- 資料識別：
- A98027456
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡明杰
- 主題與關鍵字：
- 微致動器 流體控制元件 微機電系統 微MEMS Micro-electro-mechanical system
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:4:12=41 民87.12
- 頁次:頁54-62
- 日期：
- 19981200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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