半導體製造設備之故障診斷技術

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資料識別:
A98025966
資料類型:
期刊論文
著作者:
張清陽 張少貢 鄭木火
主題與關鍵字:
半導體製造設備 故障診斷 專家系統 Semiconductor manufacturing equipment Fault diagnosis Expert system
描述:
來源期刊:機械工業
卷期:187 民87.10
頁次:頁194-209
日期:
19981000
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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