以射頻濺鍍法備製非晶形三氧化鎢薄膜及其感測特性之研究
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- 資料識別：
- A98023518
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 周榮泉(Chou， Jung-chuan) 江榮隆(Jiang， Rong-long)
- 主題與關鍵字：
- 非晶形三氧化鎢 濺鍍系統 C-V曲線 EIS結構 Amorphous tungsten trioxide a-WO[feb0] Sputtering system C-V curve EIS Eelectrolyte-insulator-semiconductor structure
- 描述：
- 來源期刊:技術學刊
- 卷期:13:3 民87.09
- 頁次:頁419-425
- 日期：
- 19980900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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