動態隨機存取記憶體製程技術趨勢
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- 資料識別：
- A98021071
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 王念民(Wang， Nien-ming)
- 主題與關鍵字：
- 動態隨機存取記憶體 化學機械研磨 自行對淬金屬矽化物 絕緣層上有矽 淺溝式隔離 Dynamic random access memory DRAM Chemical mechanical polishing CMP Self-aligned silicide Salicide Silicon on insulator SOI Shallow trench isolation STI
- 描述：
- 來源期刊:電腦與通訊
- 卷期:72 民87.09
- 頁次:頁56-62
- 日期：
- 19980900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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