Object-Oriented Design Methodology and Implementation of an Optimizing Adaptive Quality Controller for Semiconductor Manufacturing Processes
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- 資料識別：
- A98016927
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 葉進儀(Yeh， Jinn-yi)
- 主題與關鍵字：
- 物件導向設計 半導體製程 Object-oriented clesign Semiconductor manufacturing Run-to-run
- 描述：
- 來源期刊:弘光學報
- 卷期:31 民87.04
- 頁次:頁217-244
- 日期：
- 19980400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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